中國量產DUV光刻機 今年計劃生產約5部

近日，一家上海國資背景企業已開始生產國產浸沒式DUV光刻機，今年計劃生產約5部，並向中芯國際、華虹半導體及長鑫存儲等內地晶圓廠交付。中國制設備正式導入量產線前，仍需驗證精準度、可靠性及兼容性，過程可能需時數月或更長。

知情人士表示，中國制DUV光刻機在性能及製造質素方面仍落後ASML，客戶測試結果將用於修正問題及改良設備。該系統大部分零件由中國供應商提供，但部分關鍵零件仍需依賴日本供應商，本地零件延遲交貨亦拖慢今年生產進度。涉事企業整合多家中國公司的浸沒式DUV光刻機研發團隊，包括國資背景晶元設備公司上海御良升科技。

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—— 觀點網、彭博社、The Information